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加工设备
1.刀轮切割机
2.原子层沉积
3.激光划片
4.低压化学气相沉积
5.物理气相沉积
6.等离子体化学气相沉积
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1.原子力显示镜
2.X-ray CT
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4.探针测试系统
5.椭偏仪
6.膜应力仪
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11.磁学测量系统
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13.高速高分辨激光拉曼成像谱仪
14.400M核磁共振谱仪
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17.场发射扫描电镜显微镜
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