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加工设备
1.刀轮切割机
2.原子层沉积
3.激光划片
4.低压化学气相沉积
5.物理气相沉积
6.等离子体化学气相沉积
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2.X-ray CT
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13.高速高分辨激光拉曼成像谱仪
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