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产品分类
加工设备
1.刀轮切割机
2.原子层沉积
3.激光划片
4.低压化学气相沉积
5.物理气相沉积
6.等离子体化学气相沉积
检测设备
1.原子力显示镜
2.X-ray CT
3.纳米X-ray显微镜
4.探针测试系统
5.椭偏仪
6.膜应力仪
7.探针式台阶仪
8.高分辨X射线衍射仪
9.微区X射线光电子能谱
10.全功能稳态瞬态荧光
11.磁学测量系统
12.综合物性测量系统
13.高速高分辨激光拉曼成像谱仪
14.400M核磁共振谱仪
15.霍尔效应测试仪
16.接触角测试仪
17.场发射扫描电镜显微镜
18.热分析
4.低压化学气相沉积
当前条件：
4.低压化学气相沉积
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幻灯片
低压化学气相沉积
设备型号：
Tystar
主要功能：
主要用于沉积SiO2（干氧和湿氧）、SiNx、Poly（多晶硅）。
样品尺寸：
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1
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